Sekundärneutralteilchen Massenspektrometer (SNMS)

Analyse dünner Schichten, Bestimmung chemischer Elemente in einem Tiefenprofiel (Konzentrationsprofil), Tiefenauflösung im nm-Bereich

Firma: SPECS
Modell: INA-X

Verantwortlich:
Thomas Peter

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